三坐標(biāo)精密測量機(jī)采用的是紅寶石測量開頭并通過氣浮軸承使測量頭精密接觸被測物體連續(xù)移動(dòng)，同時(shí)，三坐標(biāo)的3個(gè)軸XYZ有三個(gè)光柵尺連續(xù)記載紅寶石測量頭當(dāng)前位置的坐標(biāo)值，也就是所說的測量值工件的實(shí)際尺寸，輸出給電腦軟件進(jìn)行處理，繪制出被測工件的三維圖形。

　　為什么要使用潔凈干燥的壓縮空氣：氣浮軸承以及光柵尺都需要高潔凈度的壓縮空氣進(jìn)行驅(qū)動(dòng)以及保護(hù)，干燥度不夠的壓縮空氣會(huì)大大影響氣浮軸承的移動(dòng)精度以及光柵尺的測量精度。

　　壓縮空氣膜干燥器的優(yōu)點(diǎn)：滲膜式干燥器的高可靠性使得高價(jià)值的測量機(jī)設(shè)備得到良好的保護(hù)，增加整個(gè)系統(tǒng)的壽命、提高系統(tǒng)的測量精度、減少后期維護(hù)。